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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 反应离子深刻蚀中硅/玻璃结构footing效应的实验研究 期刊论文 半导体学报, 2008 丁海涛; 杨振川; 张美丽; 闫桂珍 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 footing效应 硅/玻璃键合 反应离子深刻蚀 footing effect silicon on glass deep reactive ion etching.