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科研机构
兰州化学物理研究所 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [1]
2006 [1]
学科主题
材料科学与物理化学 [1]
薄膜材料 [1]
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Effect of deposition pressure on the adhesion and tribological properties of a-CNxH films prepared by DC-RF-PECVD
期刊论文
Journal of Materials Science, 2008, 卷号: 43, 页码: 645-651
作者:
Xue QJ(薛群基)
;
Liu WM(刘维民)
;
Hao JY(郝俊英)
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/03/28
等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院, 2006
作者:
郝俊英
收藏
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浏览/下载:29/0
  |  
提交时间:2013/05/24
a-CNxH 薄膜
PECVD
硬度
弹性模量
耐热耐蚀性
摩擦磨损行为
a-CNxH films
Hardness and elastic modulus
Thermal stability and corrosion-resistant properties
Friction and wear behavior
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