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| 亚波长角向偏振金属光栅设计方法与制造技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 朱春霖
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 基于光场成像原理的微纳结构检测方法研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学光电技术研究所, 2019
作者: 杨帆
收藏 | 浏览/下载：384/0 | 提交时间：2019/06/05
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| 数字掩模投影光刻的极限分辨率研究 期刊论文
量子电子学报, 2019, 卷号: 036, 期号: 003, 页码: 354
作者: 刘玉环; 赵圆圆; 董贤子; 郑美玲; 段宣明
收藏 | 浏览/下载：47/0 | 提交时间：2019/12/03 |
| 电路图案形成片、电路图案制造装置、电路图案制造方法及电路图案制造程序 专利
专利号: CN107535052A, 申请日期: 2018-01-02, 公开日期: 2018-01-02
作者: 大嶋英司; 日下部富男
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2019/12/30 |
| 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 曝光装置和照明单元 专利
专利号: CN105209976A, 申请日期: 2015-12-30, 公开日期: 2015-12-30
作者: 梶山康一; 水村通伸; 畑中诚
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2019/12/31 |
| 自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 江海波
收藏 | 浏览/下载：43/0 | 提交时间：2015/07/30
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| 基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文
制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50
作者: 佟军民; 胡松
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2016/11/23
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| 倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 何骏
收藏 | 浏览/下载：49/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 刘晓雷
收藏 | 浏览/下载：90/0 | 提交时间：2016/11/28
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