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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effect of geometry error on accuracy of large-diameter pads used for CMP dressing 期刊论文 International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2019, 卷号: 100, 页码: 1505-1520 作者:  Ban, X.X.;  Zhao, H.Y.;  Zhao, S.J.;  Xie, R.Q.;  Gu, Y.W. 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2019/11/19 Chemical mechanical polishing(CMP)  Geometry errors  Measured values  Polishing pads  Polyurethane pads  Profile accuracies  Spherical surface  Surface profiles   Mechanical analysis on the influence of the bonding process on the ultra-thin mirror shell 会议论文 SPIE Ground-based and Airborne Telescopes VII（Vol.10700）, Austin, Texas, United States, 2018-6-10 作者:  Heng Zuo;  Kunxing Chen 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2019/02/03 epoxy adhesive  glue  deformable mirror  invar pad  FEA  mirror polishing   Research and progress of rapid polishing technology for large aperture optics 会议论文 作者:  Ban, Xinxing;  Zhao, Huiying;  Gu, Yawen;  Xie, Ruiqing;  Liao, Defeng 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2019/11/19 Large aperture optics  Low removal efficiencies  Polishing pads  Polishing slurries  Rapid remove  Surface controls  Ultra-precision machines  Ultraprecision machining   环抛过程中热积聚效应及其对面形控制的影响 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  洪美娟 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2016/11/28 环形抛光  热积聚  面形   环抛过程中热积聚效应及其对面形控制的影响 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  洪美娟 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/28 环形抛光  热积聚  面形