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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 PECVDSiC薄膜激光退火实验研究 其他 2006-01-01 罗睿; 郭辉; 张海霞; 王煜; 李素兰; 张秀兰; 张国炳 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 PECVD法 碳化硅薄膜 激光退火条件 电子器件 MEMS器件 机械特性