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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Control of Ion Species and Energy in High-Flux Helicon-Wave-Excited Plasma Using Ar/N-2 Gas Mixtures 期刊论文 IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2018, 卷号: 46, 页码: 895-899 作者:  Huang, Tianyuan;  Jin, Chenggang;  Yang, Yan;  Wu, Xuemei;  Zhuge, Lanjian 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2019/11/26 Helicon-wave-excited plasma (HWP)  high-flux atomic nitrogen ion  ion energy distributions   One-Step Synthesis of Silicon Oxynitride Films Using a Steady-State and High-Flux Helicon-Wave Excited Nitrogen Plasma 期刊论文 PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING, 2017, 卷号: 37, 页码: 1237-1247 作者:  Huang, Tianyuan;  Jin, Chenggang;  Yu, Jun;  Yang, Yan;  Zhuge, Lanjian 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/11/26 XPS  Mixture compositions  Silicon oxynitride (SiON) films  Ion energy distributions  Nitrogen helicon plasma