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河北大学 [3]
大连理工大学 [1]
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学位论文 [2]
期刊论文 [2]
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2014 [1]
2013 [2]
2012 [1]
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非晶Nb-Ni薄膜用于Cu与Si之间阻挡层的性能和结构的研究
期刊论文
人工晶体学报, 2014, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 852-856
作者:
张磊[1]
;
冯招娣[2]
;
王世杰[3]
;
贾艳丽[4]
;
贾长江[5]
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提交时间:2019/12/21
阻挡层
铜互连
Nb-Ni薄膜
Ni-Nb为导电阻挡层的硅基铁电电容器集成研究
学位论文
: 河北大学, 2013
作者:
齐晨光[1]
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/21
磁控溅射法
导电阻挡层
硅基铁电电容器
薄膜样品
含Ni-Nb阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3电容器的制备及铁电性能研究
期刊论文
人工晶体学报, 2013, 卷号: 42, 期号: 2, 页码: 282-285
作者:
赵庆勋[1]
;
齐晨光[2]
;
贾冬梅[3]
;
付跃举[4]
;
郭建新[5]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/21
Ni-Nb阻挡层
Pb(Zr_(0.4)
Ti_(0.6))O_3
La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3
无扩散阻挡层Cu-Ni-Sn和Cu-Ni-Nb三元薄膜的制备及表征
学位论文
: 大连理工大学, 2012
作者:
刘立筠
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提交时间:2019/12/18
Cu种籽层
团簇模型
磁控溅射
无扩散阻挡层结构
Cu合金
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