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Transforming a Two-Dimensional Layered Insulator into a Semiconductor or a Highly Conductive Metal through Transition Metal Ion Intercalation
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2021, 卷号: 38
作者:
Yan, Xiu
;
Zhen, Wei-Li
;
Weng, Shi-Rui
;
Zhang, Ran-Ran
;
Zhu, Wen-Ka
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2021/08/31
A FinFET with one atomic layer channel
期刊论文
NATURE COMMUNICATIONS, 2020, 卷号: 11
作者:
Chen, Mao-Lin
;
Sun, Xingdan
;
Liu, Hang
;
Wang, Hanwen
;
Zhu, Qianbing
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2020/11/23
Modeling multilayer coating profiles with defects on EUV collector with grating
期刊论文
Optical Engineering, 2019, 卷号: 58, 期号: 10, 页码: 9
作者:
S.Z.Sun
;
C.S.Jin
;
B.Yu
;
T.Guo
;
S.Yao
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2020/08/24
EUV collector with grating,multilayer coating profile,coating defects,deposition model,EUV reflectance,lithography,Optics
Surface plasmons superresolution nanolithography technique by using polydimethylsiloxane soft mold based on light coupling
期刊论文
EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL-APPLIED PHYSICS, 2018, 卷号: 82, 期号: 3, 页码: 30401
作者:
He, Chuanwang
;
Huang, Peng
;
Fan, Bin
;
Dong, Xiaochun
收藏
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2019/08/23
Electric fields
High frequency amplifiers
Microchannels
Molds
Nanolithography
Optical resolving power
Polydimethylsiloxane
Silver
Surface plasmons
A Liquid Metal Based Super-Stretchable Strain Sensor
会议论文
2018
作者:
Lei Wang
;
Jing Chen
;
Qinwu Gao
;
Jinjie Zhang
;
Zhenwen Xie
收藏
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2019/01/31
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:
Dai, Cen
;
Gong, Yan
;
Zhang, Hao
;
Li, Dian-Meng
;
Xue, Jin-Lai
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Coatings
Confocal microscopy
Defects
Diffraction
Extreme ultraviolet lithography
Microstructure
High-speed near-field photolithography at 16.85 nm linewidth with linearly polarized illumination
期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2017, 卷号: 25, 期号: 15, 页码: 17571-17580
作者:
Ji, Jiaxin
;
Meng, Yonggang
;
Hu, Yueqiang
;
Xu, Jian
;
Li, Shayu
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2018/05/25
Directed Self-Assembly of Polystyrene-b-poly(propylene carbonate) on Chemical Patterns via Thermal Annealing for Next Generation Lithography
期刊论文
NANO LETTERS, 2017, 卷号: 17, 页码: 1233-1239
作者:
Yang, Guan-Wen
;
Wu, Guang-Peng
;
Chen, Xuanxuan
;
Xiong, Shisheng
;
Arges, Christopher G.
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/12/02
Directed self-assembly
block copolymer
lithography
thermal annealing
chemical pattern
sub-10 nm
软X射线多层膜的界面研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
赵娇玲
收藏
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浏览/下载:83/0
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提交时间:2016/11/28
软X射线多层膜
界面
沉积速率
扩散阻隔层
热稳定性
软X射线多层膜界面研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
赵娇玲
收藏
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浏览/下载:40/0
  |  
提交时间:2016/11/28
软X射线多层膜
界面
沉积速率
扩散阻隔层
热稳定性
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