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Scheduling a Single-Arm Multi-Cluster Tool With a Condition-Based Cleaning Operation
期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 1965-1983
作者:
Qinghua Zhu
;
Hongpeng Li
;
Cong Wang
;
Yan Hou
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2023/09/07
Chamber cleaning
multi-cluster tools
scheduling
semiconductor manufacturing
Scheduling Dual-Arm Multi-Cluster Tools With Regulation of Post-Processing Time
期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 8, 页码: 1730-1742
作者:
Qinghua Zhu
;
Bin Li
;
Yan Hou
;
Hongpeng Li
;
Naiqi Wu
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2023/07/20
Cluster tool
optimization
scheduling
Van der Waals nanomesh electronics on arbitrary surfaces
期刊论文
Nature Communications, 2023, 卷号: 14, 期号: 1, 页码: 14
作者:
Y. Meng, X. C. Li, X. L. Kang, W. P. Li, W. Wang, Z. X. Lai, W. J. Wang, Q. Quan, X. M. Bu, S. Yip, P. S. Xie, D. Chen, D. J. Li, F. Wang, C. F. Yeung, C. Y. Lan, C. T. Liu, L. F. Shen, Y. Lu, F. R. Chen, C. Y. Wong and J. C. Ho
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提交时间:2024/07/04
Scheduling Dual-Arm Cluster Tools With Multiple Wafer Types and Residency Time Constraints
期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2020, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 776-789
作者:
Jipeng Wang
;
Hesuan Hu
;
Chunrong Pan
;
Yuan Zhou
;
Liang Li
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2021/03/11
Cluster tools
multiple wafer types
scheduling
semiconductor manufacturing
wafer fabrication
Wafer-level optoelectronic packaging
专利
专利号: WO2019086953A1, 申请日期: 2019-05-09, 公开日期: 2019-05-09
作者:
LAM, YEE, LOY
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2019/12/30
A prototype soi pixel sensor for cepc vertex
期刊论文
Nuclear instruments & methods in physics research section a-accelerators spectrometers detectors and associated equipment, 2019, 卷号: 924, 页码: 409-416
作者:
Wu, Zhigang
;
Lu, Yunpeng
;
Zhou, Yang
;
Dong, Jing
;
Song, Longlong
收藏
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浏览/下载:99/0
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提交时间:2019/04/22
Soi pixel sensor
Cepc
Vertex detector
A prototype soi pixel sensor for cepc vertex
期刊论文
Nuclear instruments & methods in physics research section a-accelerators spectrometers detectors and associated equipment, 2019, 卷号: 924, 页码: 409-416
作者:
Wu, Zhigang
;
Lu, Yunpeng
;
Zhou, Yang
;
Dong, Jing
;
Song, Longlong
收藏
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浏览/下载:99/0
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提交时间:2019/04/22
Soi pixel sensor
Cepc
Vertex detector
Modeling of mutual inductance between planar inductors on the same plane
会议论文
郑州, 2019-10-09-2019-10-10
作者:
Feng Zhang
;
Chunyu Ma
;
Ting Zhao
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2019/10/08
Mutual Inductance
Planar Inductor
Multiple Output Isolated Power Supply
Multi-channel Digital Isolator
Manufacturable RGB laser diode source
专利
专利号: US9871350, 申请日期: 2018-01-16, 公开日期: 2018-01-16
作者:
MCLAURIN, MELVIN
;
SZTEIN, ALEXANDER
;
HSU, PO SHAN
;
GOUTAIN, ERIC
;
RARING, JAMES W.
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2019/12/24
Micropypamid silcon wafer with ZnO nanowires as high efficiency piezoelectric nanogererator
会议论文
上海, 2018
作者:
Xuecheng Yu
;
Leicong Zhang
;
Wen Jiang
;
Pengli Zhu
;
Rong Sun
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2019/01/31
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