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Emerging MEMS sensors for ocean physics: Principles, materials, and applications
期刊论文
APPLIED PHYSICS REVIEWS, 2024, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 25
作者:
Yang, Yang
;
Dai, Zhuhang
;
Chen, Yi
;
Yuan, Yapeng
;
Yalikun, Yaxiaer
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2024/06/17
Exploring the nonlinear piezoresistive effect of 4H-SiC and developing MEMS pressure sensors for extreme environments
期刊论文
MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING, 2023, 卷号: 9, 期号: 1, 页码: 1-18
作者:
Chen Wu
;
Xudong Fang
;
Qiang Kang
;
Ziyan Fang
;
Junxia Wu
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2024/05/07
A Compact Optical MEMS Pressure Sensor Based on FabryPerot Interference
期刊论文
Sensors, 2022, 卷号: 22, 期号: 5
作者:
Y. Qi
;
M. Zhao
;
B. Li
;
Z. Ren
;
B. Li and X. Wei
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提交时间:2023/06/14
A nondestructive raman spectra stress 2D analysis for the pressure sensor sensitive silicon membrane
期刊论文
ENGINEERING FAILURE ANALYSIS, 2019, 卷号: 105, 页码: 1252-1261
作者:
Wang, Zhenyu
;
Si, Bingjian
;
Chen, Su
;
Jiao, Binbin
;
Yan, Xiulan
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2020/05/19
MEMS
Residual stress
Raman spectra
Image mosaic
Anodic bondable Li-Na-Al-B-Si-O glass-ceramics for Si - ULTCC heterogeneous integration
期刊论文
JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY, 2019, 卷号: 39, 期号: 7, 页码: 2419
作者:
Chen, Guanyu
;
Ma, Mingsheng
;
Liu, Zhifu
;
Wei, Anqing
;
Zavabeti, Ali
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浏览/下载:83/0
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提交时间:2019/12/26
ULTCC
Glass-ceramic
Anodic bonding
Activation energy
MEMS
Pressure sensor
Analysis on Vibration Performance of Slit-Resonant Beam Based on BP Neural Network
会议论文
Proceedings - 2018 International Conference on Sensing, Diagnostics, Prognostics, and Control, SDPC 2018, 2018-08-15
作者:
Meng, T.
;
Sun, Z.
;
Zhang, X.
;
Zhang, J.
;
Shi, H.
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2019/12/30
MEMS
Neural networks
Systems engineering
BP neural networks
Design and optimization
Neural network model
Resonant pressure sensors
Resonant sensors
Sensor performance
Slit-resonant beams
Vibration model
Vibration analysis
Wrist MEMS Sensor for Movements Recognition in Ball Games
会议论文
Suzhou, China, July 29 - August 2, 2019
作者:
Zhang, Xueliang
;
Duan HJ(段洪君)
;
Zhang, Ming
;
Zhao YL(赵玉良)
;
Sha, Xiaopeng
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2020/05/24
Realization and Characterization of a Bulk-Type All-Silicon High Pressure Sensor
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 231-238
作者:
Chan, Elena
;
Lin, Dequan
;
Lu, Lei
;
Zhang, Deqiang
;
Guo, Shichao
收藏
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浏览/下载:48/0
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提交时间:2018/09/26
Pressure sensor
piezoresistive
MEMS
silicon
bulk
eutectic bonding
Realization and Characterization of a Bulk-Type All-Silicon High Pressure Sensor
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 231-238
作者:
Chan, Elena
;
Lin, Dequan
;
Lu, Lei
;
Zhang, Deqiang
;
Guo, Shichao
收藏
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2018/09/26
Pressure sensor
piezoresistive
MEMS
silicon
bulk
eutectic bonding
An optical fiber Fabry-Perot micro-pressure sensor based on beam-membrane structure
期刊论文
MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2018, 卷号: 29
作者:
Tian, Bian
;
Zhan, Feng
;
Han, Feng
;
Li, Kaikai
;
Zhao, Na
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/11/26
beam-membrane structure
FP cavity
MEMS
micro-pressure
optical fiber sensor
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