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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A low-g MEMS inertial switch with a novel radial electrode for uniform omnidirectional sensitivity 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2018, 卷号: 270, 页码: 214-222 作者:  Du Liqun;  Li Yu;  Zhao Jian;  Wang Weitai;  Zhao Wenjun 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/02 Low-g omnidirectional inertial switch  Novel radial electrode  Non-silicon surface micromachining  Thickness compensation  Anti-overload performance   A low-g MEMS inertial switch with a novel radial electrode for uniform omnidirectional sensitivity 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2018, 卷号: Vol.270, 页码: 214-222 作者:  Du, LQ;  Li, Y;  Zhao, J;  Wang, WT;  Zhao, WJ 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/26 Low-g  omnidirectional  inertial  switch  Novel  radial  electrode  Non-silicon  surface  micromachining  Thickness  compensation  Anti-overload  performance