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科研机构
厦门大学 [4]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
学位论文 [5]
发表日期
2016 [2]
2012 [2]
2005 [1]
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远程等离子体辅助原子层沉积技术制备HfO2薄膜及HfO2/Ge界面性质研究
学位论文
2016, 2016
池晓伟
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/06/20
远程等离子体辅助原子层沉积
HfO2/Ge界面
N2等离子体预处理
Remote plasma Atomic Layer deposition
HfO2/Ge interface
N2 plasma pretreatment
超薄GOI材料的制备及HfO2/Ge界面态研究
学位论文
2016, 2016
蓝小凌
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2017/06/20
锗浓缩
超薄GOI
电子束曝光
HfO2
界面态密度
germanium condensation
ultra thin GOI
electron beam lithography
HfO2
interface state density
超薄氧化锗制备、性质及退火对HfO2/GeO2/Ge MOS结构的影响
学位论文
2012, 2012
路长宝
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
界面钝化
超薄氧化锗
退火
MOSFET
interface passivation
ultra-thin germanium oxide
annealing
MOSFET
HfO2/Ge界面钝化技术及Si基Ge量子阱MOSFET的研究
学位论文
2012, 2012
刘冠洲
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
HfO2/Ge
湿法退火
Ge量子阱MOSFET
HfO2/Ge
wet thermal annealing
Ge quantum well MOSFET
埋嵌在高k介质中Ce纳米晶的制备及其电荷储存特性的研究
学位论文
硕士, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2005
王石冶
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提交时间:2012/03/06
高K介质
Ge纳米晶
纳米浮栅存储器
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