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远程等离子体辅助原子层沉积技术制备HfO2薄膜及HfO2/Ge界面性质研究 学位论文
2016, 2016
池晓伟
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2017/06/20
超薄GOI材料的制备及HfO2/Ge界面态研究 学位论文
2016, 2016
蓝小凌
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2017/06/20
超薄氧化锗制备、性质及退火对HfO2/GeO2/Ge MOS结构的影响 学位论文
2012, 2012
路长宝
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HfO2/Ge界面钝化技术及Si基Ge量子阱MOSFET的研究 学位论文
2012, 2012
刘冠洲
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埋嵌在高k介质中Ce纳米晶的制备及其电荷储存特性的研究 学位论文
硕士, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2005
王石冶
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