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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Preparation of ellipsoidal rod-shaped silica nanocomposite abrasives by Chromium ion/PEG200 induced method for sapphire substrates chemical mechanical polishing 期刊论文 JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2019, 卷号: 777, 页码: 1294-1303 作者:  Dong, Yue[1];  Lei, Hong[2];  Liu, Wenqing[3];  Chen, Yi[4] 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/04/22 Ellipsoidal rod-shaped silica nanocomposite abrasives  Chemical mechanical polishing  Polishing mechanism  Sapphire substrates