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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEMS high-frequency accelerometers for mechanical fault monitoring 期刊论文 Zhendong Ceshi Yu Zhenduan/Journal of Vibration, Measurement and Diagnosis, 2012, 卷号: 32, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 875-882 作者:  Zhao, Yulong;  Liu, Yan;  Sun, Lu 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/10 Cantilever-membrane structures  Fault monitoring  Manufacturing equipment  Measurement sensitivity  Micro electromechanical system (MEMS)  Piezoresistive accelerometers  Sensing elements  Sensor characterizations