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Design of SAW sensor for longitudinal strain measurement with improved sensitivity
期刊论文
Microsystem Technologies, 2019, 卷号: 25, 页码: 351-359
作者:
Ren, Juan
;
Anurakparadorn, Kanat
;
Gu, Hairong
;
Zhao, Minghui
;
Wei, Xueyong
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浏览/下载:123/0
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提交时间:2019/11/19
Bulk- micromachining
Commercial software
Cross sectional area
Eigenfrequency analysis
Impulse response model
Piezoelectric diaphragms
Resonance frequencies
Surface acoustic wave (SAW)
Beam Shaping Performance Based on Metallic Corrugated Grooves and Dielectric Periodic Gratings at 500 GHz
期刊论文
IEEE ACCESS, 2018, 卷号: 6, 页码: 42507-42515
作者:
Ding, Jiang-Qiao
;
Hu, Jie
;
Shi, Sheng-Cai
;
Zhao, Yun
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2019/04/08
Beam shaping characteristic
leaky-wave antenna
micromachining
surface plasmon (SP)
terahertz (THz)
硅微静电悬浮加速度计实验研究
期刊论文
2016, 2016
张汉蒸
;
韩丰田
;
孙搏谦
;
马高印
;
ZHANG Han-zheng
;
HAN Feng-tian
;
SUN Bo-qian
;
MA Gao-yin
收藏
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浏览/下载:3/0
硅微静电加速度计的支承刚度特性
期刊论文
2016, 2016
韩丰田
;
吴秋平
;
孙搏谦
;
张汉蒸
;
马高印
;
HAN Feng-tian
;
WU Qiu-ping
;
SUN Bo-qian
;
ZHANG Han-zheng
;
MA Gao-yin
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
新型透明电光陶瓷的特性及器件技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
张学娇
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浏览/下载:275/0
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提交时间:2016/11/28
弛豫铁电体
PLZT/PMNT电光陶瓷
强激光与物质的相互作用
电光调制器件,飞秒激光微加工
Fabrication of multifunctional components in a glass chip with femtosecond laser direct writing
期刊论文
科学通报, 2016, 卷号: 61, 期号: 6, 页码: 567
作者:
Liao Y(廖洋)
;
Wang P(王鹏)
;
Qiao LL(乔玲玲)
;
Lin JT(林锦添)
;
He F(何飞)
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2017/12/25
Fabrication of multifunctional components in a glass chip with femtosecond laser direct writing
期刊论文
科学通报, 2016, 卷号: 61, 期号: 6, 页码: 567
作者:
Lin JT(林锦添)
;
Liao Y(廖洋)
;
Cheng Y(程亚)
;
Wang P(王鹏)
;
Qiao LL(乔玲玲)
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2017/12/25
Length-extensional resonating gas sensors with ic-foundry compatible low-cost fabrication in non-soi single-wafer
期刊论文
Microelectronic engineering, 2015, 卷号: 136, 页码: 1-7
作者:
Yu, Feng
;
Xu, Pengcheng
;
Wang, Jiachou
;
Li, Xinxin
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浏览/下载:70/0
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提交时间:2019/05/10
Resonant gas sensor
Extensional bulk resonance mode
Non-soi wafer
Low-cost fabrication
Integrated-circuit foundry
Organo-phosphorous pesticide
Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation
期刊论文
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 491-495
作者:
Zhao, Yulong
;
Li, Cun
;
Hao, Mengmeng
;
Cheng, Rongjun
;
Fan, Xiaole
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/02
thin film
finite element method
flammable areas
fibre conducts
light intensity modulation
silicon compounds
microsensors
bulk micromachining technology
optical microelectromechanical-system pressure sensor
combustible areas
optical cables
intensity modulation
pressure sensors
silicon diaphragm deformation
micromachining
pressure measurement
finite element analysis
optical cable
reflected light intensity shift
pressure 0 MPa to 20 MPa
signal transmission
photoelectric detection circuit
micro-optomechanical devices
elemental semiconductors
optical modulation
thin films
source light
silicon
fibre optic sensors
Proton Beam Applications for Silicon Bulk Micromachining
会议论文
Proceedings of the 6th International Particle Accelerator Conference (IPAC 2015), Newport News, 2015
作者:
P.Nenzi
;
G.Bazzano
;
F.Marracino
;
L.Picardi
;
C.Ronsivalle
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提交时间:2016/07/04
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