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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 阵列激励电极式RF MEMS电容开关的设计与数值分析 学位论文 2008, 2008 刘肖 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2016/02/14 介质薄膜  阵列式激励  力电耦合  Insulating layer  Array-actuation pad  Electronic- mechanical coupled