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偏振性能测试方法研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  侯梦晗
收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2015/07/30
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2016/11/25
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/28
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28
高数值孔径光刻中光的传播与成像研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1周远,电工研究所
收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2010/10/18
光刻分辨率增强技术研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1高松波,电工研究所
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/10/18
分辨率增强技术在ArF光刻中的应用 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2007
1孙知渊,电工研究所
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/10/18
液体热效应对浸没式ArF光刻性能影响的研究 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2007
1樊明哲,电工研究所
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/10/18
浸没式ArF光刻CD均匀性研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2006
1张飞,电工研究所
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/10/18
ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2005
1黄国胜,电工研究所
收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2010/10/18

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