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| 微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势 期刊论文
High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束, 2017, 卷号: 29, 期号: 8, 页码: 80201
作者: 高杨; 雷强; 赵俊武; 吕军光
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/08/27
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| 压电材料的制备与压电微纳器件的研究 学位论文
2016, 2015
王建艳
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2017/06/20
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| 静电纺丝制备无机材料纳米纤维的研究 学位论文
2012, 2012
裴强
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 微谐振器的单端口静电激励-电容检测方法研究 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 卷号: 31, 页码: 36-38,41
作者: 樊尚春; 陈晨; 邢维巍
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 一种用于质量和电荷传感的纳米谐振器分析和模拟 期刊论文
2010, 2010
刘冰; 刘泽文; 王程伟; 方杰; 余文革; 刘理天; LIU Bin; LIU Ze-wen; WANG Cheng-wei; FANG Jie; YU Wen-ge; LIU Li-tian
收藏 | 浏览/下载：2/0 |
| 一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009
郭然
收藏 | 浏览/下载：71/0 | 提交时间：2011/07/19
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| 一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009
郭然
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2011/07/19
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| 静电梳齿微谐振器结构参数化设计 Parameter design of electrostatic comb micro-resonators 期刊论文
2009, 卷号: 28, 页码: 82-85
作者: 刘恒[1]; 张富堂[2]; 何晓平[2]; 苏伟[2]
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/11/29 |
| 硅微梳状静电谐振器机械性能试验研究 期刊论文
传感技术学报, 2008, 卷号: 21, 页码: 428-430
作者: 赵江铭[1]; 陈晓阳[2]; 刘武发[3]; 杨杰伟[4]; 王小静[5]
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/05/06
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| 静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究 期刊论文
中国机械工程, 2008, 卷号: 19, 页码: 1669-1673
作者: 赵江铭[1]; 杨杰伟[2]; 孙俊杰[3]; 吴晓铃[4]; 陈晓阳[5]
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/05/06
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