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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 郑秀红 收藏  |  浏览/下载：159/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  集束型  随机Petri网  建模  仿真   集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010 李林瑛 收藏  |  浏览/下载：286/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  集束型装备  数学规划模型  调度算法  集束型装备控制系统   虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文 硕士, 沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008 石泽兴 收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2010/11/29 半导体集束设备  验证  模拟  Petri网  VRML