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西安交通大学 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
软件研究所 [1]
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学位论文 [2]
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2017 [1]
2008 [1]
2007 [1]
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局部切空间排列算法的优化
学位论文
2017
作者:
郭桑
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提交时间:2019/11/26
非线性降维
流形学习
邻近点逼近
切空间
局部投影映射
中文实体提及识别及其共指消解关键技术研究
学位论文
博士, 软件研究所: 中国科学院软件研究所, 2008
冯元勇
收藏
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提交时间:2011/03/17
命名实体识别
实体提及识别
实体提及共指消解
机器学习
实体检测与识别
文本内容抽取
一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术
期刊论文
光学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 7, 页码: 1205, 1210
何乐
;
王向朝
;
王帆
;
施伟杰
;
马明英
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提交时间:2009/09/18
测量与计量
measurement and metrology
不平度检测
non-flatness measurement
承片台
wafer chuck
调平调焦
leveling control
最小二乘
least square method
光刻机
lithographic tool
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