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光电技术研究所 [1]
四川大学 [1]
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学位论文 [2]
发表日期
2000 [1]
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连续深浮雕微光学元件研究及应用
学位论文
博士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000
曾红军
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提交时间:2013/11/19
连续深浮雕微光学元件
衍射追迹模型
掩模移动
二次精密成形
连续深浮雕微光学元件放大刻蚀方法的研究
学位论文
: 四川大学
作者:
曾红军
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提交时间:2019/03/01
移动掩模技术
湿法刻蚀
干法刻蚀
微光学元件
连续深浮雕
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