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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
  收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 基于OSG的精密机床公差设计与装配工艺规划系统设计与实现 学位论文
2018
作者: 王江威
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/11/26
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| 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 徐明飞
收藏 | 浏览/下载：64/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 基于扩展Zernike多项式的投影物镜全视场像差优化研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 黄杨
收藏 | 浏览/下载：61/0 | 提交时间：2015/07/30
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| 计算机辅助公差设计的开发及应用 期刊论文
《组合机床与自动化加工技术》, 2014, 页码: 64-67
作者: 魏建东[1]; 李静蓉[1] 苏杭朋[1]
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/04/25
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| 计算机辅助装配公差设计若干理论与方法研究 学位论文
2012
作者: 张毅
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/12/10
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| 计算机辅助三维公差设计的研究现状 期刊论文
工具技术, 2007, 期号: 02, 页码: 15-19
作者: 孙晓燕; 黄克正; 张勇
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/01/03
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| 离轴三反射光学系统应用于干涉式大气垂直探测仪光学系统设计研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2005
作者: 伍和云
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/07/11
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| ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2005
1黄国胜,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 补偿法检测非球面的若干关键技术研究 学位论文
博士, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2000
郭培基
收藏 | 浏览/下载：60/0 | 提交时间：2012/03/21
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