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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 离子束溅射制备Ta2O5/SiO2薄膜的应力特性研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 作者:  余琪 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2017/06/14 薄膜应力，离子束溅射技术，光学薄膜，有限元分析