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直流等离子体CVD法在Si(100)衬底上局部定向核化及外延生长金刚石膜 期刊论文
半导体技术, 1992, 期号: 2, 页码: 59-60+63
作者:  王万录;  廖克俊;  高锦英;  刘爱民
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