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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 极紫外光学薄膜元件表面抗污染保护层及相关技术研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  王珣 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2015/11/30 极紫外光刻  极紫外反射镜  表面碳沉积  表面保护层  非周期多层膜   极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418 作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/07/06 薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线   用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜 期刊论文 光电子.激光, 2014, 期号: 7, 页码: 1298-1302 刘震 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2015/04/17 极紫外(EUV)  双波段多层膜  太阳望远镜  反射率  磁控溅射   一种利用折叠谐振腔产生三倍频紫外激光方法 专利 专利号: CN103682974A, 申请日期: 2014-03-26, 公开日期: 2014-03-26 作者:  王旭葆;  王小磊;  吴丹;  刘俊;  米庆改 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2020/01/18 19_5nm极紫外反射镜的研制 期刊论文 光学技术, 2008, 期号: 3 赵伟; 袁宏韬; 缪同群 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/09/25 薄膜光学  极紫外  多层膜  非周期  离子束溅射  同步辐射