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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 翟雷应 收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS  Fabry-Perot腔可调滤波器  光纤相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器   无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 期刊论文 光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781 翟雷应; 徐静; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/02/22 微机电系统(MEMS)  光相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器  平动微镜  保角变换法  静电驱动