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硅化物在表面微机械中的应用研究 其他
2001-01-01
张国炳; 李志宏; 郝一龙; 王伟; 唐秀英
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多晶硅膜的高压氧化 期刊论文
半导体学报, 1986
张爱珍; 王阳元
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