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科研机构
北京大学 [2]
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其他 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2001 [1]
1986 [1]
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硅化物在表面微机械中的应用研究
其他
2001-01-01
张国炳
;
李志宏
;
郝一龙
;
王伟
;
唐秀英
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提交时间:2015/10/23
硅化物
表面微机械
微机械电子系统
掺杂多晶硅膜
多晶硅膜的高压氧化
期刊论文
半导体学报, 1986
张爱珍
;
王阳元
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提交时间:2015/11/11
硅膜
高压氧化
加速氧化
氧化特性
氧化速率
氧化层厚度
薄层电阻
氧化时间
硅衬底
扩散结
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