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| 一种具有分数阶涡旋轮廓的整数阶涡旋光束相位掩模板及光路系统 专利
专利号: CN201910025970.X, 申请日期: 2020-06-26, 公开日期: 2020-06-26
作者: 李新忠; 汤洁; 王屹山; 雷冰莹; 李静
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/12/02 |
| 太阳高分辨高速重建算法的研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2016
作者: 向永源
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2022/07/29
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| 光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 李杰
收藏 | 浏览/下载：213/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法 会议论文
作者: 张恒; 李思坤; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 金属纳米结构表面等离激元杂化和吸收特性的研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 梁秋群
收藏 | 浏览/下载：687/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 姜珊
收藏 | 浏览/下载：101/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 局域表面等离子体纳米光刻原理与方法研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 王耀辉
收藏 | 浏览/下载：62/0 | 提交时间：2015/07/29
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| 极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 管文超
收藏 | 浏览/下载：67/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 何骏
收藏 | 浏览/下载：43/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 刘晓雷
收藏 | 浏览/下载：78/0 | 提交时间：2016/11/28
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