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| 接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 张绍宇
  收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2021/06/16
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| 高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李晶
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文
制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50
作者: 佟军民; 胡松
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2016/11/23
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| 表面等离子体超衍射分辨力光刻技术研究 学位论文
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
杨勇
收藏 | 浏览/下载：64/0 | 提交时间：2013/11/19
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| 接近式光刻机间隙分离机构设计 期刊论文
机械设计与制造, 2008, 期号: 7, 页码: 43-44
佟军民; 宁玉伟; 严伟; 胡松
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2015/05/18 |
| 微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究 学位论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2004
作者: 宋文荣
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/03/21
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| 高精度视频图像对准系统研究 学位论文
硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000
杨维全
收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2013/11/19
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