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X射线时空一阶光子关联成像研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2019
作者:  王飞翔
收藏  |  浏览/下载:126/0  |  提交时间:2019/12/24
液晶偏振光栅的设计及其光偏转特性研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李松振
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/08/24
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2018/04/09
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2018/04/09
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2017/09/17
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2017/09/17
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2016/07/06
扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  姜珊
收藏  |  浏览/下载:101/0  |  提交时间:2015/11/30
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2014
宋莹
收藏  |  浏览/下载:131/0  |  提交时间:2015/05/03
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2015/04/17


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