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| 基于浓硼自停止腐蚀技术的硅微谐振结构的制备 学位论文
2013, 2013
张豪尔
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| 一种新型分体式差压测量装置的研制 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2012, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 870-876
作者: 方立德[1]; 卢庆华[2]; 李小亭[3]; 张计科[4]; 何青[5]
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| 绝地传感器芯片 成果
鉴定: 无, 2010
未知
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| 扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除 期刊论文
传感技术学报, 2009, 卷号: 22, 期号: 3, 页码: 362-365
赵晋敏#; 李守荣; 王军波 陈德勇
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2010/03/18 |
| 新型耐高温压力传感器系列 成果
鉴定: 无, 2007
未知
收藏 | 浏览/下载：90/0 | 提交时间：2013/04/12 |
| 传感器在测量空气比热容比实验中的应用 期刊论文
2004, 卷号: 2, 期号: 4, 页码: 76-78
作者: 刘爱华[1]
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| 一种超薄硅薄膜的制作方法 期刊论文
功能材料与器件学报, 2002, 期号: 04
李忻; 车录锋; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 一种补偿扩散硅压力传感器零点温漂的电阻网络 期刊论文
仪器仪表学报, 2000, 期号: 1, 页码: 70-72
作者: 戎华; 李俊峰; 张声良
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| 扩散硅力敏器件CAD技术的研究——结构应力分析 期刊论文
仪表技术与传感器, 1995, 页码: 8-10+16
作者: 唐桢安; 吴坚民; 吴静
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 扩散硅压力传感器计算机辅助设计技术研究——结构分析、工艺模拟 学位论文
: 大连理工大学, 1995
作者:
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06 |
