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等倾干涉法测量小孔径圆柱形腔特征长度 期刊论文
仪器仪表学报, 2011, 卷号: 32, 期号: 10, 页码: 2330-2335
作者:  张凯[1];  林鸿[2];  孙建平[3];  张金涛[4];  李晓苇[5]
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