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大功率低气压射频感性耦合负氢离子源中电子特性的研究 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:  高飞;  李宏;  刘阳;  杨唯;  张钰如
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大功率低压射频感性耦合负氢离子源的物理基础研究 项目
2014-
作者:  王友年
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2019/12/11


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