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放电参数对不同频率驱动的容性耦合氩等离子体影响的研究 期刊论文
苏州大学学报(自然科学版), 2011, 卷号: 27, 页码: 46-53
作者:  徐海朋;  张杰;  陆文琪;  辛煜
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