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科研机构
长春光学精密机械与物... [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2018 [2]
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浸没式光刻投影物镜光学薄膜
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:
毕丹丹
;
张立超
;
时光
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提交时间:2019/09/17
浸没式光刻
光学薄膜
膜系设计
环境适应性
激光辐照寿命
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究
学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
毕丹丹
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提交时间:2019/09/23
光学薄膜
浸没式光刻
大角度保偏膜系
浸液环境寿命
激光辐照寿命
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