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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文 光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157 作者:  张旭;  赖磊捷;  李朋志;  朱利民 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2022/06/29 电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文 光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157 作者:  张旭;  赖磊捷;  李朋志;  朱利民 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2022/06/13 狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6 作者:  董世则 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2017/09/17 狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试   具有耦合补偿功能的大行程二维柔性平台 期刊论文 光学精密工程, 2016, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 804-811 作者:  闫鹏;  张立龙;  刘鹏博 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/16 大行程柔性平台  二维并联微位移平台  柔性板簧  加工误差  耦合补偿  运动解耦   具有耦合补偿功能的大行程二维柔性平台 期刊论文 光学精密工程, 2016, 卷号: 24, 页码: 804-811 作者:  Yan, Peng;  Zhang, Li-Long;  Liu, Peng-Bo 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/30 大行程柔性平台  二维并联微位移平台  柔性板簧  加工误差  耦合补偿  运动解耦   一种三自由度大行程柔性纳米定位平台 专利 申请日期: 2015-09-09, 公开日期: 2015-09-09 作者:  闫鹏;  张立龙;  刘鹏博 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/01/04 大口径主镜支撑液压缸用弹性膜片优化设计 期刊论文 红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 188-194 作者:  刘祥意;  张景旭;  陈宇东;  吴小霞;  李剑锋 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/07/06 柔性金属膜片  液压支撑  定位导向  优化   一种新型的大行程XY柔性并联微定位平台 期刊论文 常州大学学报（自然科学版）, 2013, 卷号: 25, 页码: 14-19 作者:  李振国;  于靖军 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2020/01/06 XY柔性并联微定位平台  大行程  交叉轴解耦  柔度矩阵   高精度大行程柔性位移平台技术研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院, 2012 曹佃生 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/11/01