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基于四波横向剪切干涉的定量相位显微成像及应用研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2022
作者:  宋金伟
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2022/06/20
可动态测量平面光学元件面形的测量装置及方法 专利
专利号: CN202011537852.6, 申请日期: 2020-12-23, 公开日期: 2021-03-16
作者:  段亚轩;  达争尚;  郑小霞;  董晓娜;  王拯洲
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2021/11/29
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/08/24
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/17
基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  崔博川
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/23
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/23
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/17
一种可用于天文光学频率梳定标的超高分辨偏振干涉成像光谱技术的研究与应用(博士后出站报告) 研究报告
2016
作者:  翟洋
收藏  |  浏览/下载:167/0  |  提交时间:2016/07/11
光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  李杰
收藏  |  浏览/下载:209/0  |  提交时间:2016/11/28
光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  吴飞斌
收藏  |  浏览/下载:80/0  |  提交时间:2016/11/28


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