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上海大学 [1]
重庆绿色智能技术研究... [1]
沈阳自动化研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [6]
发表日期
2022 [1]
2017 [1]
2014 [1]
1999 [1]
1996 [1]
1975 [1]
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基于电喷印集成制造阵列化嵌金属电极柔性微流体管道
期刊论文
中国科学:技术科学, 2022, 页码: 1-11
作者:
吕孝峰
;
郭洪吉
;
孙丽娜
;
杨婷
;
邹旿昊
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2022/03/15
电喷印
柔性微流体管道
无掩膜制造
柔性图案化金属电极
基于压电雾化喷涂的光刻胶涂覆工艺及其应用研究
期刊论文
黑龙江科学, 2017, 页码: 98-100
作者:
翟荣安[1]
;
汝长海[2]
;
陈瑞华[3]
;
朱军辉[4]
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/04/24
负性光刻胶
压电雾化喷涂
平均厚度
均匀性
抛光硅片
凸台结构
局域表面等离子体共振辅助的金纳米棒/聚合物纳米复合材料的双光子聚合
期刊论文
影像科学与光化学, 2014, 期号: 3, 页码: 267-273
作者:
张金龙
;
郑美玲
;
金峰
;
董贤子
;
陈述
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2018/03/16
金纳米棒
飞秒激光
双光子聚合
金属/聚合物纳米复合材料
铁电PBZR_(0.53)TI_(0.47)O_3薄膜的磁增强反应离子刻蚀
期刊论文
半导体学报, 1999, 期号: 11, 页码: 1044-1048
作者:
刘秦
;
林殷茵
;
吴小清
;
张良莹
;
姚熹
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/07
化学分析电子能谱
碳氟聚合物
刻蚀速率
磁增强
铁电薄膜
微电子机械系统
反应离子刻蚀
光刻胶
原子力显微镜
射频功率
真空微电子器件的栅极制造技术
期刊论文
半导体学报, 1996, 期号: 4, 页码: 313-317,323
作者:
朱长纯
;
关辉
;
李天英
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/07
自剥离
光刻胶
真空微电子器件
制造技术
为提高硅器件质量而进行的工艺措施
期刊论文
兰州大学学报, 1975, 期号: 3, 页码: 56-71
作者:
兰州大学物理系半导体专业赴宁光厂毕业实践队
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/04/27
阳极氧化:6424
工艺措施:5275
器件质量:3765
高频功率发生器:2583
光刻胶:1674
真空吸头:1401
结特性:1322
大学学报:1096
去胶:1093
二次氧化:1062
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