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超精密运动台半实物仿真系统及方法 专利
申请日期: 2021-06-25,
作者:  李庆鑫;  王福东;  赵冰洁;  李子阳;  张华良
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2021/07/17
基于PDMS芯模的微电铸技术及其成形机理研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2021
作者:  周波
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2022/12/15
接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  张绍宇
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2021/06/16
氟化硼酸盐晶体构效关系的理论研究和新型结构的探索 学位论文
中国科学院新疆理化技术研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  魏忠磊
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2020/11/19
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2020/08/24
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2020/08/24
基于光场成像原理的微纳结构检测方法研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学光电技术研究所, 2019
作者:  杨帆
收藏  |  浏览/下载:368/0  |  提交时间:2019/06/05
大视场级联超表面透镜的聚焦与成像设计方法研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所研究生部305教室: 中国科学院光电技术研究所, 2019
作者:  何德伟
收藏  |  浏览/下载:173/0  |  提交时间:2019/06/14
基于亚波长结构的宽带太赫兹吸收器研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  袁菁
收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2019/06/03
基于散射光暗场显微的基片表面颗粒检测方法研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  艾立夫
收藏  |  浏览/下载:45/0  |  提交时间:2019/06/13


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