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| 超精密运动台半实物仿真系统及方法 专利 申请日期: 2021-06-25, 作者: 李庆鑫; 王福东; 赵冰洁; 李子阳; 张华良
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| 基于PDMS芯模的微电铸技术及其成形机理研究 学位论文 北京: 中国科学院大学, 2021 作者: 周波
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2022/12/15
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| 接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究 学位论文 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 张绍宇
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2021/06/16
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| 氟化硼酸盐晶体构效关系的理论研究和新型结构的探索 学位论文 中国科学院新疆理化技术研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 魏忠磊
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2020/11/19
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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 赵磊
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2020/08/24
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2020/08/24
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| 基于光场成像原理的微纳结构检测方法研究 学位论文 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学光电技术研究所, 2019 作者: 杨帆
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:368/0  |  提交时间:2019/06/05
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| 大视场级联超表面透镜的聚焦与成像设计方法研究 学位论文 中国科学院光电技术研究所研究生部305教室: 中国科学院光电技术研究所, 2019 作者: 何德伟
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:173/0  |  提交时间:2019/06/14
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| 基于亚波长结构的宽带太赫兹吸收器研究 学位论文 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019 作者: 袁菁
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2019/06/03
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| 基于散射光暗场显微的基片表面颗粒检测方法研究 学位论文 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019 作者: 艾立夫
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:45/0  |  提交时间:2019/06/13 |