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大连理工大学 [3]
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专利 [2]
期刊论文 [1]
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2019 [1]
2018 [1]
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基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究
期刊论文
电加工与模具, 2019, 页码: 44-48,68
作者:
杜立群
;
赵文君
;
翟科
;
杜成权
;
魏壮壮
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/02
纳米压痕法
兆声辅助电铸
微电铸器件
减小微电铸层残余应力的兆声辅助电铸方法
专利
申请日期: 2018-01-01, 公开日期: 2018-09-21
作者:
杜立群
;
宋畅
;
翟科
收藏
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2019/12/02
减小微电铸层残余应力的兆声辅助电铸方法
专利
公开日期: 2019-08-09
作者:
杜立群
;
宋畅
;
翟科
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提交时间:2020/01/06
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