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| 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者: 李加东; 张轲; 吴东岷; 苗斌
  收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 硅微静电悬浮加速度计实验研究 期刊论文
2016, 2016
张汉蒸; 韩丰田; 孙搏谦; 马高印; ZHANG Han-zheng; HAN Feng-tian; SUN Bo-qian; MA Gao-yin
收藏 | 浏览/下载：3/0 |
| 硅微静电加速度计的支承刚度特性 期刊论文
2016, 2016
韩丰田; 吴秋平; 孙搏谦; 张汉蒸; 马高印; HAN Feng-tian; WU Qiu-ping; SUN Bo-qian; ZHANG Han-zheng; MA Gao-yin
收藏 | 浏览/下载：4/0 |
| 石墨烯及其复合薄膜的制备与摩擦学性能研究 学位论文
工学博士: 中国科学院大学, 2014
密永娟
收藏 | 浏览/下载：101/0 | 提交时间：2014/11/24
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| 基于干湿法活化相结合的硅-硅低温键合 期刊论文
2013
王凌云; 王申; 陈丹儿; 梁楚尉; 周如海; 蔡建法; 杜晓辉
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 采用硅和PDMS的堆栈式微型直接甲醇燃料电池的设计和制作 期刊论文
2013
曾毅波; 陈观生; 赵祖光; 刘畅; 刘俊; 王婷婷; 郭航
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法 会议论文
大连, 2013年7月21-24日
作者: 张晓龙; 焦念东; 高宏伟; 刘连庆
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2020/03/31
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| 压电驱动MEMS光学扫描镜的研制 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 10, 期号: 5
作者: 王敏锐 ; 李文翔
收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2013/01/22
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| Notching效应在MEMS单步干法制造工艺中的应用(英文) 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=NMJM201002015&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012
谢建兵; 苑伟政; 常洪龙
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/19
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| KOH湿法腐蚀中防金属腐蚀工艺研究 期刊论文
传感器与微系统, 2012
刘勐; 刘欣; 张威; 郝一龙
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/11/11
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