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实现空间同频二维扰动的扭摆台 专利
专利号: CN202010461015.3, 申请日期: 2020-05-27, 公开日期: 2020-09-22
作者:  韩俊锋;  张晶;  常志远;  刘鹏;  孟祥笙
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2021/11/17
一种高频高线性摆镜检测系统 专利
专利号: CN207515998U, 申请日期: 2018-06-19, 公开日期: 2018-06-19
作者:  吴李宗;  张德祥;  王锦华;  陈轩
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2019/12/24
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2017/09/17
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2017/09/17
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/04/09
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 卷号: 24, 页码: 2134-2141
作者:  Liu, Zhao-Wu;  Li, Wen-Hao;  Wang, Jing-Kai;  Jiang, Shan;  Song, Ying
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/30
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/07/06
扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  姜珊
收藏  |  浏览/下载：101/0  |  提交时间：2015/11/30
二维工作台正交性检测 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 720-722
陈琦
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2015/04/17
基于仪表自动检定系统的自动对准控制研究 期刊论文
自动化与仪表, 2013, 期号: 8
作者:  贺瑶;  方彦军
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/05

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