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| 基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统的理论分析与模拟 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 苏雅茹
  收藏 | 浏览/下载：41/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统理论分析与模拟 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 苏雅茹
收藏 | 浏览/下载：248/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统的理论分析与模拟 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 苏雅茹
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 方伟
收藏 | 浏览/下载：142/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 吴飞斌
收藏 | 浏览/下载：108/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 211004
作者: 杨济硕; 王向朝; 李思坤; 闫观勇
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 211004
作者: 杨济硕; 王向朝; 李思坤; 闫观勇
收藏 | 浏览/下载：55/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 211004
作者: 杨济硕; 王向朝; 李思坤; 闫观勇
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2016/11/25
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| 靶镜光学质量检测技术的研究 期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 926, 929
刘丹; 黄惠杰; 任冰强; 徐德衍; 曾爱军; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：1343/335 | 提交时间：2009/09/24
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| 基于哈特曼检验法的多功能光学质量检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者: 刘丹
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2016/11/28
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