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科研机构
上海光学精密机械研... [14]
内容类型
期刊论文 [10]
学位论文 [4]
发表日期
2016 [1]
2014 [6]
2013 [4]
2012 [3]
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光栅剪切干涉波前测量技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
李杰
收藏
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浏览/下载:238/0
  |  
提交时间:2016/11/28
波前测量
横向剪切干涉
波前重建
光栅元件
系统误差
可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003
作者:
刘蕾
;
曾爱军
;
朱玲琳
;
黄惠杰
收藏
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浏览/下载:18/0
  |  
提交时间:2016/11/25
相干光学
波面检测
横向剪切
干涉仪
等光程差
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者:
李杰
;
唐锋
;
王向朝
;
戴凤钊
;
冯鹏
收藏
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浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2016/11/28
测量
光栅横向剪切干涉
系统误差
Zernike多项式
光刻投影物镜
可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003
作者:
刘蕾
;
曾爱军
;
朱玲琳
;
黄惠杰
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2016/11/28
相干光学
波面检测
横向剪切
干涉仪
等光程差
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者:
李杰
;
唐锋
;
王向朝
;
戴凤钊
;
冯鹏
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/25
测量
光栅横向剪切干涉
系统误差
Zernike多项式
光刻投影物镜
可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003
作者:
刘蕾
;
曾爱军
;
朱玲琳
;
黄惠杰
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/28
相干光学
波面检测
横向剪切
干涉仪
等光程差
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者:
李杰
;
唐锋
;
王向朝
;
戴凤钊
;
冯鹏
收藏
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2016/11/28
测量
光栅横向剪切干涉
系统误差
Zernike多项式
光刻投影物镜
High spatial resolution zonal wavefront reconstruction with improved initial value determination scheme for lateral shearing interferometry
期刊论文
applied optics, 2013, 卷号: 52, 期号: 17, 页码: 3946-3956
Dai FZ(戴凤钊)
;
Tang F(唐锋)
;
Wang XC(王向朝)
;
佐佐木修己
;
Zhang M(张敏)
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/09/09
波前测量,横向剪切干涉,波前重建
横向剪切干涉二维波前重建技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
戴凤钊
收藏
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2016/11/28
波前测量,横向剪切干涉,波前重建,模式法,区域法
横向剪切干涉二维波前重建技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
戴凤钊
收藏
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浏览/下载:80/0
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提交时间:2016/11/28
波前测量
横向剪切干涉
波前重建
模式法
区域法
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