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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  李朋志 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿   压电陶瓷迟滞非线性前馈补偿器 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2217-2223 作者:  郭劲;  方楚;  徐新行;  姜振华;  王挺峰 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/09/17 压电陶瓷  迟滞非线性  前馈补偿器  Pi模型  Stop算子   压电陶瓷系统迟滞非线性建模与控制的研究 学位论文 硕士: 中国科学院大学, 2013 孙孔政 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2014/03/15 压电陶瓷  迟滞特性  Duhem模型  逆补偿  LabvieW FPGA   电动舵机伺服系统非线性辨识及补偿 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2038-2047 肖前进; 贾宏光; 章家保; 韩雪峰; 席睿 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2014/03/07 电动舵机伺服系统  非线性  LuGre摩擦  迟滞间隙  辨识及补偿