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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
  收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 反射式激光共聚焦显微镜性能变尺度评价方法 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 203-208
作者: 王方雨; 孙强; 戴明; 刘昕辉; 王成
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者: 张璐; 向阳
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 基于扫描哈特曼的大口径空间光学系统检测技术 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 魏海松
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑
收藏 | 浏览/下载：62/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 重力对空间相机系统波像差影响的光机集成分析与验证 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 8, 页码: 1917-1926
作者: 陈长征; 董得义; 李志来; 薛栋林; 张学军
收藏 | 浏览/下载：29/0 | 提交时间：2017/09/17
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| R-C光学系统的计算机辅助装调 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 3, 页码: 183-188
作者: 苏东风; 刘波; 丁亚林; 贾继强; 张雷
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 1, 页码: 130-136
作者: 王孝坤
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 基于子孔径斜率离散采样的波前重构 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 20-29
作者: 袁理; 何煦
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2017/09/17
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