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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Tungsten-Microhotplate-Array-Based Pirani Vacuum Sensor System With On-Chip Digital Front-End Processor 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2011, 卷号: 20, 页码: 834-841 作者:  Wang, Jiaqi;  Tang, Zhenan;  Li, Jinfeng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/18 Microelectromechanical systems (MEMS)  Pirani pressure sensor  pressure sensor  system on chip (SOC)  tungsten microhotplate   A MicroPirani Pressure Sensor Based on the Tungsten Microhotplate in a Standard CMOS Process 期刊论文 IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2009, 卷号: 56, 页码: 1086-1091 作者:  Wang, Jiaqi;  Tang, Zhenan;  Li, Jinfeng;  Zhang, Fengtian 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24 CMOS pressure sensor  microelectromechanical systems (MEMS)  pressure sensor  tungsten microhotplate