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多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用 其他
2000-01-01
张培玉; 武国英; 李婷
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微机械光开关中的微扭转镜阵列 其他
2000-01-01
张培玉; 郝一龙; 李婷
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面向21世纪的微电子技术 期刊论文
世界科技研究与发展, 1999
王阳元; 张兴
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