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整体叶盘研磨抛光机器人接触力阻抗控制方法研究
期刊论文
航空制造技术, 2022, 卷号: 65, 期号: 9, 页码: 60-68
作者:
李论
;
王正佳
;
赵吉宾
;
朱光
;
张洪瑶
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2022/05/15
整体叶盘
研磨抛光
零点漂移
负载标定
柔顺控制
阻抗控制
基于环形磁场励磁的两面磁力抛光试验研究
期刊论文
湖南大学学报(自然科学版), 2016, 卷号: 第4期, 页码: 31-37
作者:
阮日新,罗虎,王永强,陈逢军,胡天,尹韶辉
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/12/31
磁力研磨
环形磁场
两面抛光
磁场仿真
单晶金刚石机械研磨与化学机械抛光工艺
期刊论文
纳米技术与精密工程, 2015, 卷号: 13, 页码: 102-107
作者:
薛洪明
;
金洙吉
;
史卓颖
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/09
单晶金刚石
机械研磨
化学机械抛光
基于UMAC的超精密研磨抛光机工件坐标系的建立
期刊论文
组合机床与自动化加工技术, 2014, 期号: 10, 页码: 34-35+39
陈琦
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2015/04/17
研磨抛光机
超精密加工
工件坐标系
UMAC
双轴式研磨抛光中抛光盘相对位置对去除量的影响研究
期刊论文
光学技术, 2013, 期号: 5, 页码: 408-412
作者:
张杨
;
李秀龙
;
徐清兰
;
张蓉竹
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2016/11/22
平面研磨
去除函数
抛光盘摆幅
偏心距
去除量
单晶金刚石机械研磨结合化学辅助机械抛光组合加工工艺
期刊论文
纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 11, 页码: 369-374
作者:
李强
;
金洙吉
;
苑泽伟
;
李伟思
;
郭东明
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/11
单晶金刚石
化学辅助机械抛光
机械研磨
碲锌镉晶片机械研磨和机械抛光工艺研究
期刊论文
功能材料, 2011, 卷号: 42, 页码: 880-883,887
作者:
Peng, Lan[1]
;
Wang, Lin-Jun[2]
;
Min, Jia-Hua[3]
;
Zhang, Ji-Jun[4]
;
Chen, Jun[5]
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/04/30
碲锌镉
机械研磨
机械抛光
研抛速度
粗糙度
化学研磨抛光技术在IC制造设备中的应用
期刊论文
2010, 2010
董岚枫
;
徐春旭
;
诺门仓
;
DONG Lan-feng
;
XU Chun-xu
;
NUO Men-cang
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浏览/下载:5/0
双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究
期刊论文
新技术新工艺, 2010, 卷号: 第2期, 页码: 75-77
作者:
胡永亮
;
袁巨龙
;
邓乾发
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/05
平整度
双面研磨抛光
形状精度
塌边
平面研磨抛光轨迹研究
期刊论文
航空精密制造技术, 2009, 卷号: 第45卷 第2期, 页码: 1-6
作者:
赵萍
;
陶黎
;
王志伟
;
袁巨龙
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/13
平面研磨
平面抛光
研磨轨迹
轨迹均匀性
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