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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 激光源非接触式位移测量技术研究与实现 学位论文 2012, 2012 李艳芳 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2016/02/14 位移测量  非接触式  精度分析  length measurement  non-contact detection  accuracy analysis   微纳加工中高精度测量对实现精确定位影响的研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2007 1张波,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/10/18 微纳加工  双频激光干涉仪  光栅尺  高精度测量  精确定位  误差分析  实时温度补偿 micromanufacture  dual-frequency laser interferometer  grating scale  high-accuracy measurement  precise position  error analysis